1电子束能够极其微细地聚焦，能聚焦到0.1微米，故适合深孔加工。

　　2由于在极小的面积上具有高能量，故可加工微孔，窄缝等，且加工速度快，生产率高。

　　3加工中电子束压力小，主要靠瞬时蒸发，故工件发生的应力及变形均很小

　　4加工过程易实现自动化，电子束的强度和位置用电、磁的方法实现控制比较容易，可进行程序控制和仿型加工。由于需要高真空、高电压条件，故设备较复杂，多用于微细加工和焊接等方面。